Hauv cov txheej txheem ntau lawm ntawm cov khoom siv rau cov khoom siv kub thiab txias ua si lub luag haujlwm tseem ceeb thiab muaj peev xwm ua tau zoo thiab cov cuab yeej siv lub neej. Hauv qab no yog cov ntsiab lus tseem ceeb ntawm cov tshuab kub thiab txias txias hauv cov txheej txheem ntau lawm ntawm cov khoom siv rau cov khoom lag luam rau cov khoom lag luam:
I. Melting thiab Sintering Txuas
1. Kev tswj qhov kub thiab txias
- Hauv cov txheej txheem melting, khoom siv xws li nqus plua plav arc melting rhuab yuav tsum tau ua haujlwm rau cov neeg muaj mob siab tshaj qhov chaw tiv thaiv ib puag ncig kom tiv thaiv cov khoom siv oxidation.
- Cov txheej txheem Sintering yuav tsum muaj qhov kub ntawm 1300-1500 degree. Los ntawm kev tswj hwm cua sov thiab lub sijhawm sib tuav tau, cov khoom sib koom tes tuaj yeem sib txuas ntxiv kom nce ntom ntom ntawm cov hom phiaj.
2. Kev tswj hwm tus nqi
- Thaum cov khoom siv ua kua khov kho, tus nqi txias yuav cuam tshuam rau cov qauv zeb. Txhawm rau kom tsis txhob tawg los yog cais, yoog kev tswj hwm kub lossis ntsuas kub txias.
Ii. Kev Kho Cua Sov Txuas Txuas
Precise Kub Tswj
- Qhov kub ntawm annealing los yog daws kev kho mob feem ntau tau teeb tsa ntawm {}}} degree los txhim kho kev nruj thiab microstructure ntawm cov khoom.
- Thaum cua txias txias, cua txias tuaj yeem siv, tab sis cov cua txias yuav tsum tau sib dhos kom tiv thaiv cov khoom siv los ntawm kev ua haujlwm ntawm kev ntxhov siab thermal.
III. Sputtering cov txheej txheem txuas
1. Cov kev xav tau txias heev
- Phiaj txias txias: thaum nruab nrab fertencon sputtering cov txheej txheem, xws li siv hluav taws xob cov dej txias (qhov ntsuas dej txias)
- Khoom siv cua sov dissipation: Lub zog nruab nrab lub zog, Magetron taub hau thiab cua txias kom ntseeg tau tias cov cuab yeej siv tau ruaj khov.
2. Tswj qhov ntsuas kub
- Qhov kub ntawm cov dej txias yuav tsum tau ruaj khov ntawm 0. 5L / min, yog li cov khoom siv kub, yog li kev txhim kho cov yeeb yaj kiab zoo.
IV. Post-Ua Txuas Txuas
1. Step-to-qib txias tsim
- Peb-theem kev hloov pauv peb-qhov system siv, uas yog ua los ntawm qhov kub thiab txias ntxuav, dej khov kom qhuav thiab cua txias kom qhuav. Qhov no tuaj yeem zam kev ntxhov siab sab hauv ntawm cov khoom siv lub hom phiaj vim yog cua txias sai li sai tau, thiab muaj peev xwm tshem tawm cov impurities nyob saum npoo.
- Piv txwv li, thawj qhov txias Chamber siv cov dej txias ib txwm siv cov dej txias thiab txias dua
2. Kab laum kev pom kev ncig
- Cov dej ntws txias yuav tsum tau nruab nrog cov khoom siv lim dej, kom tshem tawm cov khoom siv lim dej xws li cov khoom siv lim los ntawm cov khoom siv lim hlau los ntawm kev daig lossis paug cov khoom siv phiaj.